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fujiwara hiroyuki - spectroscopic ellipsometry: principles and applications
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Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications Principles and Applications




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Dettagli

Genere:Libro
Lingua: Inglese
Pubblicazione: 01/2007





Trama

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.










Altre Informazioni

ISBN:

9780470016084

Condizione: Nuovo
Dimensioni: 229 x 22 x 152 mm Ø 620 gr
Formato: Copertina rigida
Pagine Arabe: 392


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