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Rapid Thermal Processing of Semiconductors

Name: Rapid Thermal Processing of Semiconductors
Price: 226,08 € EUR
Availability: InStock
Author: Borisenko Victor E.; Hesketh Peter J.
ISBN: 9780306450549

borisenko victor e.; hesketh peter j.

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Dettagli

Genere:Libro

Lingua: Inglese

Editore:

Springer US

Pubblicazione: 05/1997

Edizione: 1997

Trama

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

Sommario

1. Transient Heating of Semiconductors by Radiation.- 2. Recrystallization of Implanted Layers and Impurity Behavior in Silicon Crystals.- 3. Crystallization, Impurity Diffusion, and Segregation in Polycrystalline Silicon.- 4. Component Evaporation, Defect Annealing, and Impurity Diffusion in the III–V Semiconductors.- 5. Diffusion Synthesis of Silicides in Thin-Film Metal—Silicon Structures.- 6. Rapid Thermal Oxidation and Nitridation.- 7. Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition.- References.

Altre Informazioni

ISBN:

9780306450549

Condizione: Nuovo

Collana: Microdevices

Dimensioni: 254 x 178 mm

Formato: Copertina rigida

Illustration Notes:XXII, 358 p.

Pagine Arabe: 358

Pagine Romane: xxii

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